无铁污染法制备高纯超细结晶型硅微粉的研究

摘要

以高硬度钇稳定氧化锆球为研磨介质,对衬聚氨酯搅拌磨无铁污染法制备高纯超细结晶硅微粉进行了研究。研究了结晶硅微粉粒径特征参数D50随搅拌粉磨时间延长的变化规律,考察了钇稳定氧化锆球对结晶硅微粉的污染程度,探讨了1μm以下结晶硅微粉的形貌特征。实验结果证明:用该搅拌磨磨细石英砂并经过沉降分级,可获得SiO2质量分数为99.91%,粒径为1μm以下的高纯超细结晶硅微粉,不经分级可以获得粒径为61.5μm以下占99.99%的结晶硅微粉,但难以获得球形结晶硅微粉;钇稳定氧化锆珠对结晶硅微粉的污染程度小,磨损带进的ZrO2杂质仅占0.0246%,带进的Y2O3杂质为0.0014%。