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BGA引脚共面度的变光源阴影莫尔测量技术

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摘要

相移莫尔轮廓测量法是一种光学全场非接触三维测量方法，由于存在机械运动，限制了测量速度、使用寿命及测量的可靠性。采用变光源阴影莫尔测量技术，实现了无机械运动的快速测量。该测量方法可以满足ＢＧＡ（球脚阵列）

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来源
《半导体光电》|1999年第3期|198-200|共3页
作者
李根乾; 赵宏; 宋元鹤; 谭玉山;
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作者单位

西安交通大学激光与红外研究所;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类半导体技术;基础理论;
关键词
阴影莫尔轮廓测量; 变光源; BGA引脚共面度;
入库时间 2022-08-20 21:18:57

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