一种采用快速半导体线光源的阴影莫尔测量方法

摘要

物体三维轮廓、形变、振动、位移等参量的光电测量方法，以其非接触、高精度、高灵敏度以及易于实现自动测量等优点，而被广泛地应用。本文设计并实现了一种快速半导体线光源，提出了一种快速变光源阴影莫尔物体轮廓测量法，大大提高了阴影莫尔测量的速度和精度，实现了非接触、无机械运动、无运行噪声、全光电测量的IC形变测量与分析系统。该系统的3σ重复精度为10μm。