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库黎明; 李耀东; 周旗钢; 王敬;
北京有色金属研究总院有研半导体材料股份有限公司;
硅片; 双面抛光; 非接触式光学轮廓仪; 表面形貌;
机译:硅片双面抛光工艺中浆料的性能和优化
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机译:抛光工艺对复合树脂表面形貌和透光率的影响
机译:新概念抛光特性检查超薄双面抛光工艺 - 抛光压力的影响
机译:液压胀形工艺对退火的AISI 304不锈钢微观/中尺度成形性和表面形貌影响的分析和实验评估
机译:整体氧化锆的不同抛光/抛光方案和系统对表面形貌相变和生物膜形成的影响
机译:抛光仪器和抛光方案对整体氧化锆表面形貌和相变的影响:XPS和XRD分析的评估
机译:离子散射光谱法研究抛光熔融石英激光透镜的表面形貌
机译:在双面抛光装置中应用抛光垫的压力辊和带有压力辊的抛光垫的应用方法
机译:双面抛光装置的载体,双面抛光装置和双面抛光工艺
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