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Ge_xSi_(1-x)/Si异质结长波长红外探测器

         

摘要

描述了 Ge_xSi_(1-x)/Si 异质结长波长红外探测器的基本工作原理及结构,并结合器件介绍了实现异质结生长的各种工艺,如 MBE,CVD 等。

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