直流反应溅射沉积ITO膜的X射线光电子谱研究

摘要

采用 XPS 技术研究了直流磁控溅射 ITO 膜的结构组成及其化学态。分析了成膜工艺——热处理、反应气体 O_2流量等对 ITO 膜表面及内部成分比例的影响。