一种采用价带谱进行X射线光电子能谱校正的方法

摘要

一种采用价带谱进行X射线光电子能谱校正的方法，包括以下步骤：(1)采用X射线光电子能谱仪对材料进行特征X射线光电子能谱及价带谱的扫描，得到高分辨的谱图测试特征X射线光电子能谱及价带谱；(2)从所述的测试特征X射线光电子能谱及价带谱谱图上识别出材料中各元素特征峰的位置，并以切线相交方式从步骤(1)检测的价带谱得到材料的测试带隙数值；(3)查阅文献及书籍，得到材料的标准带隙数值；(4)将所述的标准带隙数值减去所述的测试带隙值得到的差值进行移动，得到材料真实的特征X射线光电子能谱。本发明采用价带谱进行X射线光电子能谱校正，发展了X射线光电子能谱校正的方法，得到了材料真实的特征X射线光电子能谱。