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茅昕辉; 陈国平; 陈公乃; 张随新; 张旭苹;
东南大学薄膜研究所;
ITO膜; 透明导电膜; 磁控反应溅射;
机译:直流磁控反应溅射制备ITO / Ag / ITO薄膜及其表征
机译:直流磁控反应溅射沉积氧化铜膜的结构和磁性
机译:高速直流平面磁控反应溅射制备氢化非晶硅的沉积参数和膜性能
机译:陶瓷和金属旋转靶材通过脉冲直流磁控溅射在低温下沉积的高导电性和透明ITO膜
机译:通过直流磁控反应溅射沉积氢化非晶硅过程中生长通量的表征。
机译:射频直流和射频叠加直流磁控溅射沉积的透明导电掺铝ZnO多晶薄膜的载流子输运和晶体学取向特征
机译:在室温下通过RF溅射沉积的高度透明的导电ITO / ag / ITO三层膜
机译:用于mEms应用的低应力alN压电薄膜的直流磁控反应溅射
机译:用ITO透明导电膜沉积ITO透明导电膜和彩色滤光片的方法
机译:用ITO透明导电膜沉积ITO透明导电膜和基材的方法
机译:具有ITO透明导电膜的基板以及沉积ITO透明导电膜的方法
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