ZrO_2对热压Si_3N_4性能的影响

摘要

研究了ZrO_2对热压Si_3N_4烧结性能、相组成、显微结构和力学性能的影响。发现在热压Si_3N_4-ZrO_2系统中能有效地抑制ZrN的生成,氯、钇稳定的立方ZrO_2和Si_2N_2O相共存,并有一定量的四方ZrO_2存在。提出了氧氮化锆可能的生成机理。ZrO_2含量显著影响热压出Si_3N_4的断裂韧性。在10Wt%时K_(IC)出现峰值10.23MPa,提高约46%。力学性能改善归结于应力诱导相变增韧和弥散相强化增韧。