Monte Carlo计算枧模拟—离子注入双层薄膜中的浓度分布

摘要

使用Monte Carlo方法模拟350keVXe^+注入Cu/Ti双层结构,研究界面所造成的离子浓度分布的不连续性,并讨论界面位置对浓度分布的影响。在模拟600keV Bi注入Al/Ti双层结构时,当考虑有界面势存在,则其理论值与实验值符合得更好。