基于MEMS可编程光栅检测甲烷的研究

摘要

介绍了基于微电子机械系统(MEMS)技术的微型可编程光栅的光学特性。分析了可通过对可编程光栅编程状态的预先设定,使其衍射输出对应于不同目标物质的光谱。提出了一种全新的基于微型可编程光栅的相关光谱法检测甲烷的方法。实验表明,该方法不仅可对多种气体成分进行检测,而且有很高检测精度,并具备传统检测方法无法比拟的优点。