基于宽光谱监控的光学薄膜自动控制技术

摘要

单波长监控很难精确控制宽波段上的光学特性 若采用宽光谱扫描可以在很宽的波长范围内监控薄膜特性 ,则控制既直观又准确 虽然宽光谱监控的思想很早就提出了 ,但这项技术的实用性一直不高 开发了一套宽光谱监控系统 ,使用线阵CCD配合计算机 ,可以实现光谱快速扫描 通过采用一些特殊的方法 ,系统可以达到较高的精度 配合改进的光学薄膜监控软件 。