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宽光谱膜厚监控仪的研制

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在介绍宽光谱膜厚监控原理和评价函数的基础上,重点介绍系统硬件和软件组成,最后给出该仪器的实验结果并对其精度进行分析.

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来源
《第十一届全国薄膜学术交流会》|2001年|36-40|共5页
会议地点上海
作者
周鹏飞; 陈桂莲; 张荣福;
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作者单位

中国光学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类物理光学仪器;薄膜测量与分析;
关键词
宽光谱; 镀膜; 膜厚监控仪; 光学薄膜;

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