基片粗糙度对类石墨复合膜形貌和结构的影响

摘要

使用非平衡闭合磁控溅射技术制备了类石墨复合镀层,采用SEM、AFM观察了不同渗碳淬火基片不同表面状态类石墨复合膜表面和断口形貌,采用XRD分析了镀层的相结构。结果表明:渗碳淬火基片粗糙度对类石墨复合膜的形貌、结构和摩擦学性能有明显影响。