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许兆鹏;
南京电子器件研究所;
磷化铟; 甲烷; 氢气; 反应离子腐蚀;
机译:在Ar / CH_4 / H_2等离子体中对溅射的铟锌氧化物膜进行离子辅助化学刻蚀时,深腐蚀引起的损伤
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机译:在使用CH_4 / N_2 / H_2和CH_4 / NH_3 / H_2气体混合物的热灯丝CVD反应器中进行气相化学研究
机译:使用H_2 / CH_4和H_2 / CH_4 / Ar混合物对ZnO进行反应性离子刻蚀
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机译:微波测量CH_4 / H_2 / N_2等离子体增强化学气相沉积过程中氮掺杂金刚石薄膜的椭偏研究
机译:离子注入磷化铟中电活化和杂质迁移的研究
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机译:磷化铟基板,磷化铟基板的检查方法以及磷化铟基板的制造方法
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