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李建中; 陈纪瑛;
中国科学院半导体研究所;
CH4/H2; 混合气; InP; 离子腐蚀;
机译:使用CH_4 / N_2 / H_2和CH_4 / NH_3 / H_2混合气的热灯丝CVD反应器中气相化学性质的研究
机译:Cl_2 / CH_4 / H_2和CH_4 / H_2的InP室温电感耦合等离子体刻蚀的研究与优化
机译:通过CH_4 / H_2反应离子刻蚀在InP表面亚微米节距光栅中进行选择性刻蚀时,选择性对等离子体条件的依赖性
机译:使用H_2 / CH_4和H_2 / CH_4 / Ar混合物对ZnO进行反应性离子刻蚀
机译:通过动力学方法进行热化学测定,采用直接熵校正和通过串联质谱研究的气相离子/分子反应。
机译:使用苯并呋喃类作为半胱氨酸蛋白酶的硫醇盐-咪唑鎓离子对系统的选择性探针研究肌动蛋白的催化位点。肌动蛋白(pKI 3.0pKII 9.6)的离子对反应通过与分子pKa为5.5相关的基团的电离状态进行调节的证据。
机译:采用改进的真空电弧离子源的混合气体 - 金属共同注入
机译:III-V化合物(包括InP,GaAs-InP和GaAlAs)的反应性离子蚀刻
机译:一种优化的袋装卧床反应器,采用ASPERGILLUS NIGER-KSR-21生物质进行纺织品废水处理-初步研究
机译:具有加热功能的混合气除水装置,能够减少混合气流动路径的腐蚀或反应物的沉淀
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