Mg_2Si的连续合成

摘要

Mg_2Si(硅化镁)是用液氨法制备硅烷气体(SiH_4)的重要原料,而硅烷气体不仅用于法制取高纯多晶硅,而且在半导体器件制备工艺如硅外延、隔离等方面具有广泛的用途。