MEMS冷气推进器的制作及实验研究

摘要

介绍了一种两层结构的MEMS冷气微推进器的设计和制作。并从不同的膨胀比和喉部尺寸的角度 ,对微推进器的推力和比冲性能进行了实验测量。实验结果表明 ,所制作的微推进器可以达到的最大推力在 3.3～ 4 .9mN之间 ,比冲在 5 1.0～ 6 6 .