高能离子注入聚合物薄膜耐磨机理研究

摘要

聚酰亚胺 (Kapton)薄膜在经过 1MeV、1 5MeV、2MeV的He+离子注入后 ,表面硬度和耐磨性能发生了很大的变化 ,测试结果表明随着注入He+离子能量的提高 ,薄膜的表面硬度随之增大 ,且均大于未注入的样品 ;样品最佳耐磨性能并不出现在最高注入能量下 ,而是在一中等能量下获得 .通过X 射线光电子能谱(XPS)实验得出注入He+离子后的薄膜表面层中O、N原子含量降低 。