高能离子注入聚酰亚胺薄膜表面结构研究

摘要

应用透射电子显微镜研究了聚酰亚胺薄膜在无外加氮源、氢源参与的条件下,分别经过1.0,2.0,2.5MeV的He+注入改性后表面的微观结构变化,通过选区电子衍射和高分辨等手段分析,首次发现在注入He+后薄膜表层发生了不同程度的晶化,生成了类金刚石晶体和CNx微晶.经一定能量He+轰击后的聚酰亚胺薄膜的硬度、耐磨性及抗环境能力得到了提高.