缠绕式射频磁控溅射聚酯(PET)表面沉积氧化硅(SiO_x)薄膜的研究

摘要

采用缠绕式射频磁控溅射方法在PET表面沉积SiO_x薄膜。研究了制备工艺对薄膜组成、表面形貌、阻隔性能的影响。通过红外光谱(FTIR)、扫描电子显微镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)观察分析了射频功率、工作压强等参数对SiO_x薄膜性能的影响,得到最佳工艺参数;通过透湿与透氧测试,2000W、0.7Pa得到SiO_x薄膜对水蒸汽的阻隔性提高了约15倍,对氧气的阻隔性提高了25倍。