多晶硅生产中废气的处理

摘要

为解决多晶硅生产过程中的环境污染和能耗问题,需对生产中的废气进行无害化处理。介绍了改良西门子生产工艺及废气传统处理方式,重点探讨了废气焚烧工艺,给出了废气焚烧工艺的特点、原理、流程、副产品及用途。废气焚烧工艺不仅可降低处理成本,将对环境的影响降至最低,还能够回收副产物,产生一定的经济效益。