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目录
第一章 文献综述
1.1研究背景
1.2多晶硅氯硅烷残液介绍
1.3国内外氯硅烷残液回收处理方法及工艺
1.4化工过程流程的模拟
1.5化工操作单元过程的应用
1.6精馏过程的节能
1.7本文的研究目的
第二章 氯硅烷残液回收提纯工艺的建立与模拟
2.1氯硅烷残液回收提纯工艺的建立
2.2氯硅烷残液回收提纯工艺的模拟
2.3氯硅烷残液回收提纯工艺的性能评价
2.4本章小结
第三章 氯硅烷残液回收提纯工艺的优化
3.1预分精馏塔模拟优化
3.2四氯化硅脱轻塔模拟优化
3.3四氯化硅脱重塔模拟优化
3.4六氯二硅烷脱轻塔模拟优化
3.5六氯二硅烷脱重塔模拟优化
3.6优化结果分析
3.7本章小结
第四章 差压热耦合技术在氯硅烷残液回收提纯工艺中的应用
4.1差压热耦合精馏工艺的建立
4.2差压热耦合精馏工艺的模拟优化
4.3差压热耦合工艺的性能评价
4.4本章小结
第五章 冷氢化渣浆无水处理工艺
5.1喷雾干燥法
5.2旋转闪蒸干燥法
5.3本章小结
第六章 结论与展望
参考文献
发表论文和参加科研情况说明
致谢