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孙庆雨; 孙喆禹; 邢文超; 孙德贵;
长春理工大学理学院;
吉林华微电子股份有限公司;
薄膜; 氧化硅薄膜; 光波导; 应力; 折射率;
机译:FHD光波导法制备掺Ge二氧化硅薄膜及其紫外光敏性
机译:掺Ge纳米晶体的硅基二氧化硅波导的制备及其强量子约束效应的观察
机译:等离子体增强化学气相沉积法制备平面波导用掺Ge的SiO_2玻璃薄膜
机译:PECVD法制备氧氮化硅薄膜的内部应力和光机械特性的光学干涉法研究
机译:通过溶胶-凝胶法制备的掺((3+)和ter(3+)的2二氧化硅-二氧化钛玻璃的能量传输和波导研究。
机译:有机无机的制备与性能用低温工艺使用的混合抗反射薄膜中空二氧化硅纳米粒子
机译:通过非水酸碱反应制备低熔点混合玻璃/掺Ge的石英玻璃波导中具有高光反射性/先进的TiO2薄膜电极中的光催化作用(固体化学-非晶态材料)
机译:使用高压氧制备的二氧化硅薄膜的残余应力,化学蚀刻速率,折射率和密度测量
机译:通过等离子体增强化学气相沉积法低功率制备高导电掺磷N型微晶氢化硅薄膜的工艺
机译:掺Ge的ZnO薄膜的制备方法
机译:用于制备氧化硅或基于氧化硅的玻璃质薄膜的溶胶-凝胶工艺,由此获得的薄膜以及用于制备该薄膜的溶胶组合物
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