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薛守迪; 杨成韬; 解群眺; 毛世平;
电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室;
中国电子科技集团公司第26研究所;
AIN薄膜; 衬底温度; XRD; 原子力显微镜(AFM);
机译:沉积温度对射频反应磁控溅射沉积在蓝宝石衬底上的c轴取向AlN薄膜的微观结构和表面形态的影响
机译:衬底温度对反应磁控溅射沉积AlN薄膜的结构性能和沉积速率的影响
机译:激光流量和衬底温度对Si(100) - (PPT)的AlN薄膜准分子激光沉积的影响 - (PPT)
机译:温度对掺杂有银纳米颗粒和多壁碳纳米管的聚乙烯醇(PVA)薄膜的表面电阻率的影响,用于光电和传感器应用
机译:热蒸发法沉积纳米结构化CdS薄膜:衬底温度的影响
机译:直流磁控溅射衬底温度对巨磁结构上的基板温度控制的影响及Fe 2.45 sum> Sm合金薄膜的易感性
机译:mn和mn-mgF sub 2薄膜电阻器的衬底温度和电阻率
机译:低电阻率n型和低电阻率p型单晶AlN薄膜的合成方法
机译:制备具有SI衬底的ALN基模板和具有SI衬底的GAN基外延结构的方法
机译:多层AlN / Co / AlN结构的纳米薄膜及其使用的磁随机存取存储器
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