衬底温度对Al2O3薄膜微观组织和电阻率的影响

杨和梅; 姚正军

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衬底温度对Al2O3薄膜微观组织和电阻率的影响

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为了研究衬底温度对Al2O3薄膜表面形貌和绝缘性的影响,用奥氏体不锈钢作衬底,在不同温度下用直流反应磁空溅射法直接衬底Al2O3薄膜.把在室温、100℃,250℃和400℃下衬底的样品,用SEM,EDS,XRD观察分析薄膜的微观组织,用绝缘电阻仪测量薄膜电阻.结果表明:衬底温度升高,薄膜表面晶粒度增大;薄膜电阻率随其温度升高而下降.

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来源
《现代冶金》 |2005年第6期|1-3|共3页
作者
杨和梅; 姚正军;
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作者单位

南京航空航天大学材料科学与技术学院,南京,210016;

南京农业大学工学院,南京,210031;

南京航空航天大学材料科学与技术学院,南京,210016;

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正文语种 chi
中图分类薄膜技术;
关键词
Al2O3薄膜; 基片温度; 反应溅射; 电阻率;

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