公开/公告号US2022108885A1
专利类型
公开/公告日2022-04-07
原文格式PDF
申请/专利权人 XIDIAN UNIVERSITY;
申请/专利号US202117275774
发明设计人 ZHIHONG LIU;JUNWEI LIU;JINCHENG ZHANG;LU HAO;KUNLU SONG;HONG ZHOU;SHENGLEI ZHAO;YACHAO ZHANG;WEIHANG ZHANG;YUE HAO;
申请日2021-02-08
分类号H01L21/02;
国家 US
入库时间 2022-08-25 00:22:56