Al栅a-Si TFT栅绝缘膜研究

摘要

Al栅可明显降低AM－LCD中a－SiTFT矩阵的栅总线电阻及栅脉冲信号延迟，有利于提高高密显示屏的开口率与图像质量。本文详细介绍了Al栅的阳极氧化技术，获得了适于a－SiTFT复合栅的Al2O3栅绝缘材料。