热处理工艺对钙锶铋钛铁电薄膜性能的影响

摘要

用溶胶–凝胶法和快速退火技术在带白金电极和钛过渡层的硅片(Pt/Ti/SiO2/Si)上制备了钙锶铋钛(Ca0.4Sr0.6Bi4Ti4O15, CSBT–0.4)铁电薄膜。结果表明:退火温度及保温时间对 CSBT–0.4 铁电薄膜的微观结构、晶粒取向以及铁电性能的影响较大。X 射线衍射谱表明:退火温度为 750 ℃、保温时间为 5 min,得到的 CSBT–0.4 铁电薄膜样品的晶粒大小较均匀且致密性好,而且晶粒以 a 轴取向的球状晶粒为主,剩余极化强度(2Pr)和矫顽场(2Ec)分别为 16.2 μC/cm2和 130 kV/cm。