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用MOCVD和快速热处理工艺制备钛酸铋铁电薄膜

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采用MOCVD工艺,制备非晶态Bi4Ti3O12薄膜,然后经过快速退火处理,制备高度择优取向的Bi4Ti3O12铁电薄膜,运用X射线衍射术分析薄膜材料的结构,X射线显微分析仪测量薄膜材料的组份,并通过电滞回线的测量,研究快速退火对Bi4Ti3O12薄膜结构和电性能的影响.

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来源
《微电子技术》 |2002年第1期|16-19,28|共5页
作者
苏学军; 李岩;
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作者单位

海军航空工程学院理化教研室,烟台,264001;

海军航空工程学院电工教研室,烟台,264001;

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正文语种 chi
中图分类钛酸盐铁电体;
关键词
MOCVD; XRD; 快速退火; 铁电薄膜;

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