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ESP工艺制备SnO_2－MnO薄膜的氢敏特性

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研究了用静电喷雾高温分解（ＥＳＰ）工艺制备的ＳｎＯ２－ＭｎＯ薄膜在氢气氛下电阻的变化结果表明它的电阻较高，对此亦有较高的灵敏度；

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来源
《材料研究学报》 |1996年第2期|176-179|共4页
作者
田敬民;
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作者单位

西安理工大学;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 O484.42;
关键词
静电喷雾; 高温分解; 薄膜; 二氧化锡; 氢敏;

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