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高朝阳; 周旗钢; 戴小林; 崔彬; 韩海建;
有研半导体材料股份有限公司;
北京100088;
北京有色金属研究总院半导体材料国家工程研究中心;
外延; 重掺硼硅衬底; 热致微缺陷; 层错;
机译:Si衬底上微坑中掺Er的ZnO薄膜的近红外光发射
机译:多波长拉曼光谱在快速热退火过程中非接触监测硅衬底上掺硼外延Si1-xGex双层中Ge和B的扩散
机译:无铅压电微器件应用中Ir / 2 / Si衬底上a / b轴取向的Bi3.9Pr0.1Ti3O12厚膜中的均匀场致应变
机译:亚微晶金属中缺陷诱导温度演化的红外热重研究
机译:通过光学和热结电容技术研究掺磷的氢化非晶硅中的缺陷反应和晶格弛豫
机译:通过MOCVD在300mm GE缓冲的Si(001)衬底上产生的o频带Qualtum Dots
机译:si衬底上Gaas薄膜的异质外延研究有效控制缺陷密度和内应力
机译:Si-蚀刻溶液是无铬的和SiGe-衬底的衬底,通过使用SiGe-Si-衬底和蚀刻溶液的蚀刻溶液工艺来处理衬底的缺陷和指示方法
机译:用于Si衬底和SiGe衬底的无铬蚀刻溶液,使用该蚀刻溶液显示缺陷的方法以及使用该蚀刻溶液处理Si衬底和SiGe衬底的方法
机译:FREMG。前锋。晶体微晶硅酸盐磷酸盐的研究SI含量高的结晶微磷酸盐磷酸酯,具有增强的抗失活稳定性,可防止失活和使用。这些在甲醇制烯烃中的应用
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