Hg_(1-x)Cd_xTe液相外延薄膜的晶体质量分析

摘要

本文用Ｘ射线双晶摇摆曲线，分析了Ｈｇ１－ｘＣｄｘＴｅ外延薄膜的晶体质量。结果表明，用垂直浸渍液相外延方法生长的Ｈｇ１－ｘＣｄｘＴｅ薄膜，结构均匀性好，晶体质量高；Ｈｇ１－ｘＣｄｘＴｅ外延薄膜表面层的晶体质量，优于其界面层；同时，Ｈｇ１－ｘＣｄｘＴｅ外延薄膜表面层的位错密度，可通过Ｘ射线双晶摇摆曲线的半峰宽估算得到。