具有宽测量范围的扫描探针见微镜研究

摘要

介绍了具有宽测量范围（１４０×１４０μｍ２）的高灵敏度扫描探针显微镜（ＳＰＭ）。仅用了６个需加工的零件，构造出了直接对１３０ｍｍ的磁盘、光盘表面纳诺形貌和集成电路芯片光刻质且检查分析的多模式测量仪器。通过更换测头，可以在扫描隧道显微镜（ＳＴＭ）、原子力显微镜（ＡＦＭ）、磁力显微镜（ＭＰＭ）与静电力显微镜（ＥＦＭ）模式下工作。本文给出了部份试验结果，如高定向石墨的原子图像、光栅和超精密磨削试件表面的纳米级形貌图。