探针固定而样品振荡型无微杆扫描力显微镜镜体

摘要

本发明探针固定而样品振荡型无微杆扫描力显微镜镜体涉及扫描探针显微镜，包括探针、样品、振子、定位器，定位器设置于探针与振子之间，探针指向固定于振子上的样品。定位器由XYZ定位压电管及分别设置在其两端的探针座和振子座构成，探针与振子分别固定在探针座与振子座上。探针是分立的无微杆探针。振子为压电振子、晶体振子、石英晶振片或石英微叉。本发明的有益效果为：可使用分立的无微杆探针，如性能优越的STM探针；探针成本大大降低，利于性能更好扫描力显微镜的出现和普及；使用高品质因子的晶体振子能提高频率分辨率和测量精度；在定位器与振子间增设辅助振子还可获得小振幅振荡，提高短程力测量灵敏度和原子分辨能力。