单晶硅厂副产物四氯化硅的回收利用

摘要

1.用SiCl_4固体废弃物制备硅酸乙酯的反应原理通过多次试验论证,将SiCl_4同无水乙醇利用酯化反应原理,在常温常压下生产硅酸乙酯,蒸馏过程中产生的盐酸废气采用负压吸收法进行处理,负压吸收法淘汰了传统的喷淋吸收法.负压吸收无酸雾逸出,且在蒸馏工艺中的冷凝水用作负压吸收过程中的溶剂水,实现了清洁生产,同时在制备硅酸乙酯的过程中,也制得了工业纯盐酸(浓度为28%).