用同步辐射X射线反射率法研究薄膜结构

摘要

利用同步辐射Ｘ射线对Ｃｒ／ＳｉＯ２系统进行了反射率测量，得到了信噪比非常好的反射率曲线。通过对实验数据进行傅立叶变换和最小二乘法拟合得到了Ｃｒ膜的厚度以及Ｃｒ膜与ＳｉＯ２衬底界面的粗糙度。结果表明，该方法对精确测定界面的粗糙度非常有效。