同步辐射X射线多层膜反射率计装置

摘要

一种同步辐射X射线多层膜反射率计装置，采用单块多层膜反射镜作为色散元件，装置主体由两台Bragg衍射仪构成统一体，单色器和随动摇臂构成第一个衍射仪，所述单色器与随动摇臂构成二倍角关系；样品和探测器构成第二衍射仪，所述样品与探测器也构成二倍角关系。使用单块多层膜反射镜使单色器系统大大简化，同时使得光源传输效率及光通量大大增加，由于整套机构处于同一个真空腔体中，使得结构更加紧凑，整个工程造价也大大降低。