用化学气相沉积法制备红外体块晶体ZnS(英文)

摘要

本文报道了采用化学气相沉积法制备红外ZnS体块晶体的工艺及其性能。并用傅立叶红外光谱仪测试了材料的红外性能 ,研究了晶体缺陷对材料红外透过率的影响。结果表明 :通过优化生长工艺 ,使反应室的压力在 5 0 0～ 10 0 0Pa之间变化 ,沉积温度控制在 5 5 0～ 6 5 0℃之间 ,可以制备出厚度均匀 ,红外透过率 (3- 5 μm和 8～ 12 μm)在70 %以上 ,尺寸达 2 5 0mm× 2 5 0mm× 15mm高质量的ZnS体块晶体。