化学气相沉积制备ZnS块材料均匀性的研究

摘要

以硫化氢气体与锌为原料，通过化学气相沉积制备了ＺｎＳ块材料。分析了ＺｎＳ的沉积过程机理，研究了沉积参数如沉积温度、沉积区压力和硫化氢、锌蒸汽、载气氩气流量对ＺｎＳ厚度均匀性的影响规律，提出了改善ＺｎＳ厚度均匀性、抑制沉积表面球状物生长的途径。