激光化学气相反应生长Ti(C,N)薄膜的成分及微观结构

摘要

运用XRD、EPMA、TEM等手段分析在Ti—6Al—4V基材上用激光化学气相反应生长的Ti（C，N）薄膜的成分、结构、显微组织可在基材表面形成大面积均匀的Ti（C，N）膜层，为无明显择优取向的等轴纳米晶，其中有少量的Ti2N相，且Al、V含量低于基材。