生长氧化物薄膜的金属有机物化学气相沉积反应室结构

摘要

一种生长氧化物薄膜的金属有机物化学气相沉积反应室结构，包括：一上罩机构为一桶状，底部开有一圆孔，侧壁上开有一侧孔；一下罩机构为一管状，该上罩机构、下罩机构固接；一辅气气嘴机构包括：一柱体，下面固接有一喇叭口；一三路喷气气嘴机构包括：一固定座为圆筒形，该固定座的小径端插入并固定在侧孔内；一气嘴座为一柱体，包括一大径端和小径端，该小径端的直径与固定座内孔相同，该气嘴座插入固定座内孔固定，该气嘴座的纵向开有三个通孔，该通孔为阶梯状，该通孔朝向内端插接有三根气体喷管，朝向外端插接有三根金属管；一旋转机构包括：一旋转轴，该旋转轴的一端与底座上的通凹孔配合，另一端固定一托盘，该托盘正对着辅气气嘴机构上的喇叭口。