微型溅射离子泵性能测试

摘要

本文介绍了小抽速微型溅射离子泵的性能测试系统和参考机械行业标准确定的测试方法,探讨了测量结果误差来源。实验测试了微型溅射离子泵的各项性能指标,为进一步研制提供了依据。