微光学元件复制技术研究

摘要

本文介绍了一种用硅橡胶做模具、光照固化光敏胶的微光学元件复制技术 .利用这种方法成功地复制了各种单元尺寸的微光学元件 .获得复制精度高、表面粗糙度低、光学性能良好的元件 .并可批量生产 。