TiO_2纳米薄膜的制备与氧敏性能的研究

摘要

本文通过 Sol- gel法在 Al2 O3基片上制得了 Ti O2 纳米薄膜 ,经 XRD分析 ,薄膜具有多晶结构 ,其主晶相为金红石 .本实验还对 Ti O2 薄膜的氧敏特性进行了研究 ,实验结果表明 ,Ti O2 纳米薄膜在 80 0℃下具有良好的氧敏特性和重复性 。