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SiGe与SOI：模拟／混合信号电路的先导技术

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ＳｉＧｅ与ＳＯＩ：模拟／混合信号电路的先导技术亦然摘编在当今众多模拟／混合信号工艺技术中，又出现两种新兴技术。这就是正在崭露头角的硅－锗异质结双极晶体管（ＳｉＧｅＨＢＴ）工艺和已经在大多数先进的互补双极（ＣＢ）工艺中大显身手的绝缘体上硅（ＳＯＩ）技术...

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来源
《微电子学》 |1994年第3期|69-71|共3页
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正文语种 chi
中图分类线性集成电路、模拟集成电路;
关键词
SiGe; SOI; 模拟电路; 混合信号电路;

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