InP基微机械可调滤波器结构特性分析

摘要

介绍了一种由静电驱动的InP基微机械可调滤波器,通过模拟此结构中DBR的反射谱和法布里 珀罗(F P)腔的透射谱分析了其滤波性能。用有限元方法分析了几种典型微机械结构的调制特性和顶镜的动态响应特性。比较了不同结构镜面的平整度行为。为InP基微机械F P腔的设计优化提供了有效参数依据。