(100)硅上硅化钽膜氧化性质的研究

摘要

本文综述了我们关于Tasi_2/(100)Si膜氧化性质研究的若干实验结果,其中包括常压和高压氧化下的氧化规律、氧化形貌、退火条件、氧化压力等因素对氧化过程中SiO_2-Tasi_x-Si三层结构内Si、Ta、O原子输运的影响。