离子束混合条件下Fe－Dy多层膜的非晶化

摘要

在超高真空（１０￣（－７）ｐａ）条件下用双源蒸镀法在单晶Ｓｉ和ＮａＣｌ衬底上制备了一系列Ｆｅ、Ｄｙ原子配比的成分调制多层膜。用卢瑟福背散时（ＲＢＳ）和俄歇能谱（ＡＥＳ）分析成分沿厚度的分布，并用掠入射ｘ射线衍射分析（ＸＲＤ）离子束混合前后的结构。结果表明，随Ａｒ离子剂量的增加混合量增加，在１０￣（１７）Ａｒ／ｃｍ￣２达到均匀混合，同时混合还诱发非晶化，平均成分约为Ｆｅ＿（６０）Ｄｙ＿（４０）的多晶膜完全转变为非晶态，Ｆｅ含量高于６０ａｔ％，有残余ｂｃｃ－Ｆｅ，反之，Ｄｙ含量高于４０ａｔ％，有残余ｈｃｐ－Ｄｙ．