离子束动态混合形成非晶膜及其特性研究

摘要

同时用离子溅射及高能离子轰击相结合的离予束动态混合技术,直接在轴承钢GCr15衬底土制备富Ta表面合金。适当控制沉积温度及原子·离子到达比,可形成一定组分的非晶合金膜。分别用TEM、EDAX与XPS观察膜的结构与其所含主要成分。在NaCl、H_2SO_4溶液中检验了膜的抗局部腐蚀和均匀腐蚀能力。通过硬度测试、摩擦、磨损试验考查了膜的机械性能。实验表明,用此工艺形成的GCrl5-Ta非晶合金膜,具有优良的化学性质和物理性质。在盐溶液中的自腐蚀电位、点蚀电位和保护电位均明显上升,在酸溶液中的极化电流密度降低2～3个数量级,钝化区大大扩大。